2023年9月20日，陛通半导体受邀加入第23届中国国际工业展览会产融相助、供应链相助对接系列运动——“芯创未来，推动国产新装备新质料立异生长”专题聚会 �；嵘媳萃ǜ弊懿谩⑹谐∠圩芩纠沓潞平蚁泄亍侗∧こ粱氨傅幕涤胩粽健返闹魈庋萁� 。在谈及海内外薄膜沉积装备市场时，他指出：外洋企业起步早、积累深挚，海内装备与之相比在可靠性及稳固性方面还保存一定的差别，但在焦点的手艺指标上，照旧很有希望取得一定突破的 。海内半导体装备企业的生长及手艺突破离不开一连立异和坚持匠心的精神 �＞刍嵯殖�，在做陛通产品先容时，立异和匠心获得了充分的体现 。现在陛通拥有6/8吋PVD、12吋CVD以及12吋和6/8吋ALD多个品类的国产薄膜沉积装备，公司国产装备在市场拓展上取得了诸多希望 。- 陛通12吋CVD装备（包括PECVD&SACVD）Jupiter 3120接纳了自主研发的“小亮旋转“手艺，相比于古板的灯箱270度的旋转模式，陛通接纳了使晶圆在360度规模内旋转的立异方法，使得薄膜匀称性逾越了西欧主流装备，实现了焦点手艺上的突破 。Jupiter 3120已进入了海内多家逻辑芯片、功率器件及存储器制造厂并乐成通过验证 。
- 依附特有的Adaptor、一体式水冷设计、点接触式真空手臂等多种设计，可实现对工艺套件的有用控温顺超薄晶圆的稳固传送，同时带来了产能的大幅度提升 。现在Venus 2200已应用于海内多家制造功率器件、SiC、硅基GaN、滤波器品级三代半导体6/8吋晶圆厂，并获得了客户的普遍认可 。
- 可设置8个反应腔和2个ALD腔，能够使PVD、ALD和CVD腔搭配在统一平台上，这种组合方法可应用于高带宽存储器（HBM）工艺 。现在Venus 3210已具备了Cu互联、硬掩模、Al Pad、TiN等制程的交付能力 。
- 接纳了团簇式的设计，搭配了4个腔体的组合可抵达高产能的效果，现在该装备已知足28nm HKMG的制程要求 。
值得一提的是，除以上薄膜沉积装备之外，高端紫外线固化装备Aegis UV3也是陛通的亮点之一，它能做到精彩的UV光照量和匀称性，有用地提高薄膜应力 。Aegis UV3已陆续发往海内着名的存储晶圆厂 。宝剑锋从磨砺出，陛通十五载始终坚持乘风破浪、砥砺前行，以后将会继续奋进，为中国半导体的生长添砖加瓦、保驾护航 。
