2023年11月，国产半导体薄膜沉积装备研发制造企业上海陛通半导体能源科技股份有限公司圆满完成近5亿元新一轮融资。
本轮融资尊龙凯时资源作为团结领投方，追加投资近1亿元。陛通半导体将一连加大手艺和产品研发投入，积累更多优异人才，推出更多国产高端薄膜沉积装备品种，加速工业化结构。
陛通半导体建设于2008年，是一家集研发、生产、销售和手艺支持为一体的高端国产半导体薄膜沉积装备的高手艺立异企业。公司始终强调一连立异的产品研发能力以及与客户的细密相助，至今已经拥有73项授权发明专利，共计165项其他原创专利，包括国际专利。
现在公司自研的12吋PECVD、SACVD、磁控溅射PVD、射频溅射PVD、反应离子溅射PVD、Thermal ALD产品已经陆续进入海内种种类型、种种规模晶圆厂并成为主力装备。同时，6-8吋磁控溅射PVD的高产能厚铝工艺、背金工艺、热铝填孔槽工艺被大宗应用于海内化合物半导体SiC、GaN、IGBT、MOSFET等功率芯片制造。
